工信部推行国产氟化氩光刻机 核心技术新打破

近期，工业和信息化部发布了《首台（套）严重技能配备推行使用辅导目录（2024年版）》。这一目录聚集于国家重器——严重技能配备，它们对国家的综合国力与安全具有深远影响。所谓首台（套）严重技能配备，特指那些在国内完成技能腾跃、具有自主知识产权但商场成绩没有闪现的配备产品，包括整机、中心体系及要害零部件等多个层面。

在该目录的电子专用配备部分，特别提到了集成电路设备的发展，例如氟化氩光刻机。这款设备选用193纳米光源，其分辨率已达到65纳米以下，套刻精度更是控制在8纳米以内。这一信息透露出我国在高端制作范畴的最新技能动态。

此目录的发布，不只展现了我国在严重技能配备自主研制方面的最新效果，也标志着对相关工业未来的推行与使用寄予厚望，旨在推进工业晋级和技能进步。